COBRA DS 2141 A干式螺桿真空泵

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關(guān)鍵詞：干式螺桿真空泵

摘要

DOLPHIN LR 0420/0580 A 液環(huán)真空泵
適配化工、制藥、發(fā)電等多工業(yè)場景，DOLPHIN LR 0420/0580 A 液環(huán)真空泵以液環(huán)技術(shù)實現(xiàn)穩(wěn)定抽氣，耐蝕材質(zhì)輕松應對復雜介質(zhì)。結(jié)構(gòu)精簡易維護，運行低耗節(jié)能，能長效保障真空需求，助力企業(yè)降低運維成本、提升生產(chǎn)效率，是工業(yè)真空系統(tǒng)的高可靠選型。

產(chǎn)品介紹

COBRA DS 2141 A干式螺桿真空泵

干式螺桿真空泵

技術(shù)規(guī)格

ISO 50 HzISO 60 Hz

干式螺桿真空泵

尺寸圖

COBRA DS 2141 A

干式螺桿真空泵

抽速

空氣溫度為 20°C 時，公差：± 10%

干式螺桿真空泵

為匹配半導體行業(yè)對真空系統(tǒng) “超高潔凈、耐蝕穩(wěn)定、精密適配” 的嚴苛要求，COBRA DS 2141 A 干式螺桿真空泵專為半導體核心制程定制，可廣泛應用于晶圓刻蝕、薄膜沉積（PVD/CVD）、離子注入、芯片封裝測試等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，是保障半導體制程良率的核心設備。

其采用無油干式螺桿設計，從根源油蒸汽污染，符合 ISO 14644-1 Class 1 級潔凈標準，避免晶圓表面因油污殘留導致的良率損耗；針對制程中常見的 Cl?、NF?等腐蝕性氣體，泵腔選用哈氏合金與 PTFE 復合涂層，耐蝕性提升 300%，使用壽命可達 12000 小時以上，大幅降低設備更換成本。

真空性能上，極限真空度達 10?³Pa，抽氣速率穩(wěn)定且響應迅速，能快速建立并維持高真空環(huán)境，保障刻蝕線寬均勻性、薄膜沉積厚度精度；同時優(yōu)化低振動結(jié)構(gòu)（振動量≤2mm/s）與靜音電機（運行噪音≤65dB），避免干擾周邊光刻機、探針臺等精密設備。

設備符合 SEMI S2/S3 半導體安全標準，模塊化設計讓核心部件拆裝無需整機拆解，維護時間縮短 50%，減少生產(chǎn)線停機損耗；搭配智能監(jiān)測系統(tǒng)，支持實時數(shù)據(jù)反饋與遠程運維。現(xiàn)提供 7×24 小時技術(shù)支持、上門安裝調(diào)試及 18 個月質(zhì)保，為半導體企業(yè)降本增效、穩(wěn)定產(chǎn)能提供可靠保障。

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