愛德華渦旋干泵XDS35i
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摘要
愛德華 XDS35i 渦旋干式真空泵，無油設(shè)計污染，專為半導(dǎo)體、科研等精密真空場景打造。運行穩(wěn)定、維護便捷，可快速建立清潔真空環(huán)境，兼具能與高可靠性，是您真空系統(tǒng)的 “潔凈動力核心”，為制程與實驗研究保駕護航。
產(chǎn)品介紹
愛德華渦旋干泵XDS35i
泵的抽速40 m3/h的一系列應(yīng)用中，被證明是一種強大而清潔的真空泵解決方案。
專利雙啟動渦旋式技術(shù)和旁通閥的結(jié)合使Edwards能夠提供XDS35i增強型系列泵，補充了原始系列。
XDS35i采用了智能驅(qū)動技術(shù)，以照顧泵并提供性能。
隨著粗真空壓力下峰值功率要求的降低和連續(xù)更高的粗真空速度，這些增強型泵使用戶能夠解決性能問題，以幫助那些粗加工性能或排空大腔室容積的能力很重要的特殊應(yīng)用。
增強型在初始泵送過程中可將峰值功率要求降低20%：這意味著它能夠在不損失性能的情況下泵送大容量腔室。
在這些粗真空壓力下，它的泵送速度高達25%，這也有助于更高頻率的循環(huán)應(yīng)用。
Edwards（愛德華）XDS35i 系列干式渦旋真空泵，屬于無油干式真空泵的一種。
它具備清潔無油的真空環(huán)境、出色的蒸汽處理能力（如水蒸氣處理量可達 240g/h），廣泛應(yīng)用于分析儀器（如質(zhì)譜、掃描電鏡）、半導(dǎo)體制造、科研實驗等領(lǐng)域。表格中還細(xì)分了 XDS35i 和 XDS35i Enhanced 兩個版本，在極限真空、連續(xù)進氣壓力等性能參數(shù)上有所差異，可根據(jù)不同應(yīng)用場景的真空需求選擇。
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