TXL-840D 高潔凈度應(yīng)用氦質(zhì)譜泄漏檢測儀 | 氦質(zhì)譜儀
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摘要
TXL-840D 設(shè)計(jì)用于高潔凈環(huán)境的氦質(zhì)譜泄漏檢測儀,能對密封件和真空系統(tǒng)進(jìn)行快速、準(zhǔn)確的泄漏分析。結(jié)合無油渦旋泵、氧化釔涂層離子源及模塊化結(jié)構(gòu),該設(shè)備在航空航天、半導(dǎo)體與電力行業(yè)的系統(tǒng)驗(yàn)證中表現(xiàn)穩(wěn)定。
產(chǎn)品介紹






普發(fā)(PFEIFFER)單極旋片油式真空泵(以經(jīng)典的PC系列為例)因結(jié)構(gòu)緊湊、維護(hù)便捷和可靠性高,被廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室分析、半導(dǎo)體前道、鍍膜與材料制備等領(lǐng)域。下面以PC系列為參照,結(jié)合常見故障、排查方法與維護(hù)要點(diǎn),提供實(shí)用的維修與保養(yǎng)指南,幫助設(shè)備維護(hù)人員快速恢復(fù)泵的良好性能。
氦質(zhì)譜儀產(chǎn)品與配件詳情可參考廠商產(chǎn)品頁:普發(fā)PC系列產(chǎn)品。
主要技術(shù)參數(shù)(PC 系列示例)
型號 抽速 (m³/h) 極限真空 (mbar) 電機(jī)功率 (kW) 注油量 (L) 進(jìn)氣口口徑 PC 101 1.1 2 × 10?³ 0.09 0.1 DN 10 KF PC 201 2.5 2 × 10?³ 0.18 0.2 DN 16 KF PC 301 4.5 2 × 10?³ 0.37 0.35 DN 16 KF PC 401 6.5 2 × 10?³ 0.55 0.6 DN 25 KF PC 501 10.5 2 × 10?³ 0.75 0.8 DN 25 KF 四大常見故障現(xiàn)象與逐步排查方案
故障一:極限真空不達(dá)標(biāo)或抽速變慢
檢查真空油:觀察油色與油位。若油變黑、乳化或含雜質(zhì),先更換為普發(fā)推薦油;油位應(yīng)在視窗中線位置。
排氣閥問題:拆檢排氣閥片與閥座,清除碳化油泥或更換損壞閥片。
內(nèi)部磨損:旋片磨損會導(dǎo)致密封間隙增大,需由維修人員拆泵檢查并更換旋片。
故障二:異常噪音或振動
油位或潤滑不良:補(bǔ)足正確型號油并更換已污染油。
旋片損壞或卡滯:停機(jī)拆泵檢查旋片是否斷裂或夾雜異物。
軸承磨損:軸承故障會產(chǎn)生低頻或尖銳噪音,需更換軸承。
異物進(jìn)入:檢查并清理泵腔內(nèi)外來顆粒,評估零件損傷并修復(fù)。
故障三:泵體溫度過高
調(diào)整油位:油量過多或過少均會導(dǎo)致溫升。
更換油品:老化油降低冷卻性能,及時(shí)更換。
檢查排氣背壓:排氣管堵塞或油霧過濾器失效會增加負(fù)載。
冷卻系統(tǒng)(如有)異常:大型帶水冷型號需檢查冷卻水路與水溫。
故障四:電機(jī)無法啟動或突然停車
電源檢查:確認(rèn)供電電壓、斷路器與保險(xiǎn)絲狀態(tài)。
過載保護(hù)跳閘:可能因油溫過低、卡滯或內(nèi)部負(fù)載驟增??稍跀嚯姾髧L試手動盤車或點(diǎn)動啟動。
電機(jī)損壞:如有異味或明顯燒毀痕跡,需維修電工檢測并維修或更換電機(jī)。
更多配件與選型信息可見:普發(fā)真空泵與配件目錄。
典型維修案例(高校實(shí)驗(yàn)室 PC 501)
故障表現(xiàn):抽速減半,極限真空只能達(dá)到 ~1×10?² mbar。
檢查油色與油位:油色深黑且渾濁,油位正常。
第一次處理:更換原廠新油,抽速改善但極限仍不合格(約5×10?³ mbar)。
進(jìn)一步檢漏:進(jìn)氣法蘭與密封圈無明顯泄漏,懷疑內(nèi)部問題。
拆檢排氣閥:發(fā)現(xiàn)閥片表面有碳化油泥且關(guān)閉不嚴(yán)。清潔閥片、閥座并再次更換油。
結(jié)果:恢復(fù)至接近出廠性能,極限真空約2×10?³ mbar。
該案例強(qiáng)調(diào):油品老化是性能下降的首要因素,油泥堆積會引發(fā)如排氣閥失效等次生故障。
常見問題解答(精要)
更換油的周期?建議連續(xù)工作下每500–1000小時(shí)或半年更換;初始狀態(tài)下使用50小時(shí)后檢查并根據(jù)情況更換。
可以用通用油替代嗎?不推薦,建議使用普發(fā)原廠或同等規(guī)格的真空泵油。
油乳化(變白)如何處理?停機(jī)更換油并檢查進(jìn)氣端冷阱和環(huán)境濕度,必要時(shí)采取排潮處理。
冬季啟動困難怎么辦?可點(diǎn)動啟動、或用加熱帶/吹風(fēng)機(jī)對泵體進(jìn)行溫和加熱以降低油粘度。
何時(shí)判斷旋片需更換?排除油、泄漏與閥門問題后仍無法恢復(fù)真空,且抽速明顯下降時(shí),應(yīng)開泵檢查旋片磨損。
排氣口大量噴油正常嗎?不正常,檢查油位及油霧過濾器是否堵塞或失效。
需要一直通冷卻水嗎?僅帶“W”或大型工業(yè)型號需水冷,臺式風(fēng)冷型號無需。
日常保養(yǎng)要做什么?每日檢查油位與顏色、聽噪音、摸溫度并保持外殼清潔,定期更換油與油霧過濾器。
泵可否在大氣下長期運(yùn)行?禁止,會加速油氧化并損壞電機(jī)與泵體。
無法自行解決時(shí)?立即停機(jī)并聯(lián)系授權(quán)售后或維修人員,避免拆解造成更大損害。
如需備件或服務(wù)支持,請瀏覽產(chǎn)品與服務(wù)頁:普發(fā)真空泵產(chǎn)品與服務(wù)。對于常用易損件(旋片、排氣閥片、油霧過濾器、密封圈等),建議在現(xiàn)場備件清單中常備,以便快速更換。
維護(hù)小貼士:保持良好進(jìn)氣預(yù)處理(冷阱、過濾器)、按時(shí)更換油并做好運(yùn)行記錄,是延長旋片泵壽命與減少突發(fā)停機(jī)的關(guān)鍵。更多型號參數(shù)與配件詳情,可參考:普發(fā)PC系列及配件信息。
本文為設(shè)備維護(hù)與故障排查的實(shí)用參考,具體維修操作請參照設(shè)備銘牌與廠商維修手冊,或聯(lián)系廠商授權(quán)維修服務(wù)。
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