普發(fā)渦旋干泵 HiScroll 12
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摘要
普發(fā) HiScroll 12 渦旋干泵，是無油真空解決方案核心設(shè)備，適配半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室等場(chǎng)景，無油污染、低噪音，抽速且運(yùn)維便捷，輕松實(shí)現(xiàn)清潔真空環(huán)境，是精密真空應(yīng)用的環(huán)?？煽恐x。
產(chǎn)品介紹
普發(fā)渦旋干泵 HiScroll 12
普發(fā) HiScroll 系列干式渦旋泵，由德國(guó)普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）公司研發(fā)生產(chǎn)。它屬于無油干式真空泵，采用渦旋泵技術(shù)，具有低噪音、無油污染、智能化控制等特點(diǎn)，常用于半導(dǎo)體、分析儀器、科研等對(duì)真空環(huán)境潔凈度要求較高的領(lǐng)域，可作為渦輪分子泵的前級(jí)泵，為高真空系統(tǒng)提供基礎(chǔ)真空條件。
潔凈無污，適配敏感場(chǎng)景：采用完全無油干式運(yùn)行設(shè)計(jì)，不會(huì)產(chǎn)生碳?xì)浠衔镂廴?，搭配氣密式密封系統(tǒng)，能保障真空環(huán)境潔凈。且內(nèi)置兩級(jí)氣鎮(zhèn)裝置，可抽取水、溶劑等可凝性蒸汽，適配半導(dǎo)體、質(zhì)譜分析等對(duì)污染零容忍的工藝。
低噪低振，適配安靜環(huán)境：運(yùn)行噪音僅 47dB (A)，振動(dòng)幅度極小，再加上緊湊的機(jī)身設(shè)計(jì)，不會(huì)對(duì)周邊環(huán)境造成干擾，特別適合實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)機(jī)構(gòu)等對(duì)工作環(huán)境安靜度要求高的場(chǎng)所。
節(jié)能，運(yùn)維成本低：搭載專利 IPM 同步電機(jī)，驅(qū)動(dòng)效率比傳統(tǒng)電機(jī)高出 15%，產(chǎn)熱更少，冷卻需求也隨之降低。經(jīng)超 15500 小時(shí)耐力測(cè)試，配件損耗小，維護(hù)間隔長(zhǎng)且耗時(shí)短，能顯著降低長(zhǎng)期運(yùn)營(yíng)成本。
智能互聯(lián)，適配工業(yè) 4.0：支持 RS - 485 或 ProfiNet 接口，可輕松與普發(fā)渦輪分子泵等設(shè)備互聯(lián)協(xié)同。可選裝壓力傳感器，實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)速自動(dòng)調(diào)節(jié)和性能監(jiān)控，待機(jī)模式還能將轉(zhuǎn)速降至全速的 50%，延長(zhǎng)部件使用壽命。
安全可靠，運(yùn)行有保障：內(nèi)置止回閥與安全閥，停機(jī)時(shí)可防止氣體回流，避免污染真空腔體和工藝環(huán)節(jié)。同時(shí)具備 ATEX 認(rèn)證，能安全處理氫氣等易燃?xì)怏w，適配多種復(fù)雜工況下的安全運(yùn)行需求。
抽氣性能
抽速達(dá) 12.1m³/h；氣鎮(zhèn) 1 級(jí)流量 18L/min，氣鎮(zhèn) 2 級(jí)流量 30L/min。
無氣鎮(zhèn)時(shí)極限真空度可達(dá) 6×10?³hPa，氣鎮(zhèn) 1 級(jí)極限真空度 5×10?²hPa，氣鎮(zhèn) 2 級(jí)為 4×10?¹hPa；整體漏率 5×10??Pa?m³/s。
最大進(jìn)氣壓力 1100hPa，最大排氣壓力 1500hPa。
電氣規(guī)格
適配電壓 100 - 127V/200 - 240V 交流（允許 ±10% 波動(dòng)），適配 50/60Hz 頻率。
額定電流在 100 - 127V 時(shí)為 8A，200 - 240V 時(shí)為 4A，最大電流 8A；功耗范圍 210 - 280W，搭載 IPM 同步電機(jī)。
配備 RS - 485 接口，支持遠(yuǎn)程控制與設(shè)備互聯(lián)。
物理與運(yùn)行特性
機(jī)身尺寸 419×265×304mm，重量 24kg；進(jìn)出口均采用 DN25 ISO - KF 連接法蘭。
額定轉(zhuǎn)速 1560rpm，轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)范圍 624 - 1870rpm；運(yùn)行噪音僅 47dB (A)，防護(hù)等級(jí) IP40。
采用強(qiáng)制對(duì)流風(fēng)冷方式，適配 5 - 40℃的工作環(huán)境，最大運(yùn)行海拔 2500m。
認(rèn)證與其他
擁有 ATEX、SEMI S2/S8、cTUVus 等多項(xiàng)認(rèn)證，適配多種嚴(yán)苛工況；內(nèi)置兩級(jí)氣鎮(zhèn)裝置與止回閥，保障運(yùn)行安全。
Hiscrol 12 外形尺寸和性能曲線
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