VACGEN ZLVM263R 型泄漏閥
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摘要
VACGEN ZLVM263R 泄漏閥，真空系統(tǒng)專用精密元件，可調(diào)控微量氣體泄漏與腔體壓力，適配實驗室、半導(dǎo)體、真空鍍膜等場景。其結(jié)構(gòu)緊湊、調(diào)節(jié)靈敏、密封性能優(yōu)異，運行穩(wěn)定可靠，為真空環(huán)境氣氛控制提供高效解決方案。注：按需選配附件
產(chǎn)品介紹
VACGEN ZLVM263R 型泄漏閥
VACGEN ZLVM263R 泄漏閥是一款真空系統(tǒng)專用精密調(diào)控元件，主打微量氣體泄漏與腔體壓力控制，具備結(jié)構(gòu)緊湊、調(diào)節(jié)靈敏、密封性能優(yōu)異的特點，運行穩(wěn)定可靠，適配實驗室、半導(dǎo)體、真空鍍膜等多類場景的真空環(huán)境氣氛調(diào)控需求，是提升真空系統(tǒng)工藝穩(wěn)定性的關(guān)鍵配件。
壓力參數(shù)：工作壓力覆蓋超高真空至常壓區(qū)間，范圍為 10?¹¹mbar - 100mbar；進口壓力最高可承受 10bar，能適配不同真空系統(tǒng)的壓力調(diào)控需求。
材質(zhì)與密封：閥體采用 304L 不銹鋼打造，搭配 mallory 密封墊，兼顧耐腐蝕與密封穩(wěn)定性，適配各類真空工況下的氣體控制場景。
耐高溫性能：支持最高 450℃烘烤作業(yè)，可滿足真空系統(tǒng)高溫清潔等特殊工藝要求，保障高溫環(huán)境下的穩(wěn)定運行。
連接與結(jié)構(gòu)：采用 DN40CF 連接類型，兩個閥軸均配置可旋轉(zhuǎn)法蘭，便于安裝集成；整體為全金屬結(jié)構(gòu)，適配精密真空環(huán)境。
操控配置：自帶精細(xì)控制機構(gòu)與可調(diào)節(jié)刻度分度環(huán)，調(diào)控精準(zhǔn)度高；同時可按需選配電機控制功能，適配自動化真空系統(tǒng)。
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