SP10K隔膜密封隔離閥
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摘要
Edwards SP10K 隔膜密封隔離閥，是真空系統(tǒng)專用直列式閥：采用彈性膜片隔離閥桿與介質(zhì)，耐 “臟污” 工況，漏率低至 10?? mbar?L/s，可耐 9bar 過壓，適配 NW10 法蘭，鋁合閥體輕量耐用（僅 230g），支持管道 / 面板安裝，是半導(dǎo)體、科研真空設(shè)備的高可靠隔離部件。
產(chǎn)品介紹
SP10K隔膜密封隔離閥
Speedivaves
SP閥是隔膜密封的In-Line隔離閥。該結(jié)構(gòu)主要由柔性彈性隔膜組成，該彈性隔膜通過螺紋機構(gòu)密封在輕度拋光的閥座上。該機構(gòu)通過隔膜與系統(tǒng)隔離，從而形成一個極其堅固和“臟”的系統(tǒng)耐受閥。
閥門端接在NW法蘭上，可采用管道支撐或面板安裝。（SP40K僅支持管道）
易于操作，帶有閥門打開的視覺指示（SP10K至SP25K）
密封性優(yōu)于10 6 mbar ls 1/8 x 10 7 Torr ls 1
隔膜將機構(gòu)與真空系統(tǒng)完全隔離
極其堅固且耐“臟”的系統(tǒng)
將承受9巴的超壓（SP10K至SP40K，帶Co-Seal）
核心標識類：Edwards SP10K、SP10K 隔膜密封隔離閥、Speedivalve、型號 C33105000
性能參數(shù)類：漏率 1×10?? mbar?L/s、9bar 過壓、分子傳導(dǎo)率 1.7L/s、工作溫度 0 - 40℃、60℃烘烤溫度
結(jié)構(gòu)材質(zhì)類：鋁合金閥體、氟橡膠隔膜、丁腈橡膠隔膜、玻璃增強塑料手輪、NW10 法蘭
安裝使用類：管道安裝、面板安裝、手動操作、閥門開啟視覺指示、230g 輕量化
適用場景類：真空系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造、科研實驗室、臟污工況、高純度流體控制
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