普發(fā)真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列渦輪分子泵
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摘要
普發(fā)真空 HiPace 系列渦輪分子泵，是高真空領(lǐng)域的核心設(shè)備：搭載渦輪葉片技術(shù)，抽速覆蓋寬量程，極限真空達(dá) 10?11mbar 級(jí)，體積緊湊適配各類腔體，兼具低振動(dòng)、長(zhǎng)壽命優(yōu)勢(shì)，廣泛適用于半導(dǎo)體制程、科研儀器、鍍膜設(shè)備等場(chǎng)景，是高真空系統(tǒng)的可靠動(dòng)力選擇。
產(chǎn)品介紹
普發(fā)真空（PFEIFFER VACUUM）HiPace 系列渦輪分子泵，是超高真空系統(tǒng)的核心設(shè)備，通過(guò)高速渦輪葉片輸運(yùn)氣體分子以獲得高真空環(huán)境，側(cè)邊的接口模塊用于實(shí)現(xiàn)控制信號(hào)、供電等連接，常用于半導(dǎo)體制造、科研實(shí)驗(yàn)等場(chǎng)景的真空系統(tǒng)中。
普發(fā) HiPace 系列渦輪分子泵的抽速特性曲線，它展示了 N?、He、Ar、H?等不同氣體在不同壓強(qiáng)（單位：hPa）下的抽速（單位：l/s）變化規(guī)律，是評(píng)估該系列分子泵抽氣性能的核心圖表，用于真空系統(tǒng)的選型與性能匹配分析。
普發(fā) HiPace 系列渦輪分子泵的安裝尺寸圖紙，標(biāo)注了該分子泵的接口規(guī)格（如 DN 100 ISO-K 進(jìn)氣口、DN 16 ISO-KF 排氣口）、安裝孔位（M8 螺栓）及各部位尺寸參數(shù)，用于指導(dǎo)其在真空系統(tǒng)中的安裝適配。
電商詳情頁(yè)精簡(jiǎn)版
普發(fā)真空 HiPace 系列渦輪泵是堅(jiān)固高性能的無(wú)油渦輪泵。它搭載復(fù)合軸承或磁懸浮軸承系統(tǒng)，搭配經(jīng)激光平衡的精密轉(zhuǎn)子，外殼通過(guò)多重安全認(rèn)證，IP54 防護(hù)適配惡劣工況。轉(zhuǎn)速最高達(dá) 90000rpm，極限真空達(dá) 10?¹¹mbar，可免維護(hù)運(yùn)行五年，適配半導(dǎo)體、真空鍍膜等多領(lǐng)域穩(wěn)定作業(yè)。
工業(yè)客戶推廣版
專為嚴(yán)苛工業(yè)場(chǎng)景打造的普發(fā) HiPace 系列渦輪泵，憑堅(jiān)固設(shè)計(jì)與強(qiáng)悍性能出圈。其混合軸承由陶瓷球軸承與永磁徑向軸承組合而成，抗振動(dòng)耐損耗，再加上高性能潤(rùn)滑劑加持，大幅提升耐用性。抽速覆蓋 10 - 2700 升 / 秒，小分子氣體壓縮比優(yōu)異，還帶自診斷功能，軸承可現(xiàn)場(chǎng)更換，能最大限度減少生產(chǎn)中斷，是高真空工藝的可靠之選。
小型設(shè)備適配版
普發(fā) HiPace 系列渦輪泵兼顧緊湊身形與堅(jiān)固高性能。部分型號(hào)小巧輕便可集成到便攜式設(shè)備，采用專利激光平衡技術(shù)降低振動(dòng)噪音。AccessLink 接口可自動(dòng)識(shí)別附件，開(kāi)機(jī)即能用，新型潤(rùn)滑油讓它抗老化、耐高溫，即便在極端條件下也能穩(wěn)定輸出高真空，適配質(zhì)譜分析、電子顯微鏡等振動(dòng)敏感型應(yīng)用。
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