普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 4506M 磁懸浮渦輪分子泵

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關(guān)鍵詞： ATH 4506M 磁懸浮渦輪分子泵

摘要

普發(fā)真空 ATH 4506M 磁懸浮渦輪分子泵，依托磁懸浮技術(shù)實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸運(yùn)行，大幅降低摩擦與噪音，能耗更優(yōu)。具備高抽速、高壓縮比優(yōu)勢(shì)，極限壓力可達(dá) 10?1?mbar，提供潔凈真空環(huán)境。配備智能監(jiān)控與自動(dòng)平衡系統(tǒng)，安裝維護(hù)便捷，適配半導(dǎo)體、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等多領(lǐng)域，是穩(wěn)定可靠的真空解決方案。

產(chǎn)品介紹

普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 4506M 磁懸浮渦輪分子泵。

它屬于渦輪分子泵品類，采用磁懸浮軸承技術(shù)，具備高抽速、低振動(dòng)、免維護(hù)的特性，可實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、科學(xué)研究等對(duì)真空度要求極高的領(lǐng)域。

ATH 4506M 磁懸浮渦輪分子泵

普發(fā)真空 ATH 4506 渦輪分子泵的抽速曲線。

圖中展示了該泵對(duì)不同氣體（N?、Ar、He、H?）在不同入口壓力（p，單位 hPa）下的抽速（l/s）變化關(guān)系，是體現(xiàn)其抽氣能力隨壓力和氣體種類變化的核心性能曲線之一。

ATH 4506M 磁懸浮渦輪分子泵

渦輪分子泵的外形尺寸圖紙。

圖中展示了該泵的兩個(gè)不同視角的輪廓與尺寸標(biāo)注（包含直徑 “Ø” 和長(zhǎng)度 “T” 等參數(shù)），用于指導(dǎo)泵的安裝、適配設(shè)備腔體的空間布局等工程應(yīng)用場(chǎng)景，屬于真空設(shè)備（渦輪分子泵）的機(jī)械設(shè)計(jì)圖紙范疇。

ATH 4506M 磁懸浮渦輪分子泵