HiPace 700 H渦輪分子真空泵
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HiPace 700渦輪分子真空泵
摘要
HiPace 700 H 憑借突破性壓縮比、智能能效管理及超長使用壽命，重新定義超高真空性能標準。無論是嚴苛工業(yè)制程還是前沿科研探索，它都能提供潔凈、穩(wěn)定、的真空保障，助力提升產品良率、實驗精度與系統(tǒng)可靠性。普發(fā)真空技術支持網絡，確保設備全生命周期無憂運行。
產品介紹
HiPace 700 H渦輪分子真空泵
技術規(guī)格ISO
抽速
市場和應用
分析及實驗室
高能物理，超高真空
半導體應用
PVD檢驗與計量
金屬和高 K 蝕刻
LPCVD / 擴散光刻技術
氧化物蝕刻，剝離 / 灰化
ALDPECVDSi Poly etch
Load lock 和 傳輸輕沉積離子注入
配件
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