安捷倫控制器 4UHV
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安捷倫TC 規(guī)模擬器
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安捷倫 9515106 泄漏閥
摘要
安捷倫 4UHV 離子泵控制器是超高 / 極高真空系統(tǒng)核心設(shè)備，可同時獨立供電、控制和監(jiān)測 4 臺不同類型及規(guī)格的離子泵。配備 4 行 LCD 大屏，實時顯示電壓、電流與壓力數(shù)據(jù)，支持低至 1×10?1? mbar 測量。具備 STEP 電壓調(diào)節(jié)、IProtect 防護功能，標配多接口遠程控制，符合 EMC 標準，適配半導體、粒子加速、研發(fā)等場景，為嚴苛真空需求提供穩(wěn)定可靠的智能控制方案。
產(chǎn)品介紹
安捷倫控制器 4UHV
4UHV 控制器
作為從安捷倫推出的 VacIon 泵系列的一員，4UHV 離子泵控制器能使您獨立地啟動、控制和監(jiān)控多達 4 臺抽速從 20 到 500 L/s 的離子泵。新的低電噪音設(shè)計可以讓您在關(guān)鍵應(yīng)用中自由地選擇舍棄或減少電氣噪聲過濾器的使用。與所有安捷倫真空產(chǎn)品一樣，我們致力于讓您滿意。我們能為您提供完善的服務(wù)和支持，滿足您的特定需求。
特性
控制器可自動調(diào)節(jié)工作電壓，從而優(yōu)化抽氣速率
通過利用模擬量輸出或 RS232/485 端口，可以方便地訪問真空系統(tǒng)所有的元件。
根據(jù)您的需要提供多種配置，能驅(qū)動一到四種不同尺寸，抽速從 20 到 500 L/s 的泵。
施加的高電壓作為壓力的函數(shù)而得到優(yōu)化，從而提供更準確的壓力讀數(shù)，實現(xiàn) 10-10 mbar 超高壓區(qū)域范圍內(nèi)的壓力測量。
保護模式對電流進行了限制，以保護泵和控制器。
電纜配備有一個互鎖系統(tǒng)，當插頭從泵中移除時，該系統(tǒng)將立即關(guān)閉高壓。
高壓輸出的交流分量減少到限度，從根本上消除了對額外過濾器的需求，特別適用于掃描電鏡 (SEM) 應(yīng)用。
采用安捷倫
性能指標
外形圖
資料
部件號及說明
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