安捷倫復合離子泵 VacIon Plus
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摘要
安捷倫復合離子泵 VacIon Plus，集成離子泵與 TSP 泵芯雙重技術，極限真空低至 < 1×10?11 mbar，覆蓋多氣體抽排。無運動部件設計實現(xiàn)無振動運行，搭配 350℃高溫烘烤功能，潔凈度與穩(wěn)定性拉滿。8 萬小時超長壽命，支持多類型法蘭與定制化配置，適配科研、半導體、電子顯微鏡等場景，是超高真空系統(tǒng)的可靠之選。
產品介紹
安捷倫復合離子泵 VacIon Plus
核心工作原理：泵內升華器通過通電等方式加熱鈦材，使其升華后沉積在冷卻的泵體壁面，形成新鮮鈦膜。這層鈦膜能與氮、氧、一氧化碳等活性氣體強烈反應生成穩(wěn)定化合物，從而實現(xiàn)抽氣。但鈦膜僅能單分子層吸附氣體，且對惰性氣體和甲烷基本無吸附效果，需持續(xù)生成新鈦膜才能維持抽氣。
核心優(yōu)勢：結構簡單，不同類型升華器適配不同場景，像輻射加熱鈦球升華器利用率可達 70%；運行時無油污染、無振動噪聲還抗輻射，契合高潔凈需求場景；抽速表現(xiàn)出色，大型泵抽氣速率能達數(shù)十立方米每秒，搭配液氮冷卻時，抽速更是比水冷卻提升 1 - 4 倍。
主要應用場景：在電子器件制造、高能加速器、可控熱核反應裝置等領域廣泛應用。如今還拓展到半導體晶圓刻蝕、新能源電池電極鍍膜等工業(yè)場景，同時也是質子治療加速器等醫(yī)療設備，以及深空探測相關空間模擬裝置的關鍵配套設備。
常見使用要點：需在 1 - 10?² 帕的預真空環(huán)境下啟動，暴露大氣壓后要以 300 - 400℃溫度烘烤 12 - 24 小時去氣；常與濺射離子泵等配合使用來彌補對惰性氣體吸附不足的缺陷；超高真空環(huán)境下多采用斷續(xù)升華模式，既能保證抽氣效果，又能減少鈦材消耗。
部件號及說明
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