安捷倫真空計 563 B-A

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摘要

安捷倫 563 B-A 真空計是一款高性能 Bayard-Alpert 型真空測量設(shè)備，憑借加熱燈絲電子源與玻璃外殼鉑涂層設(shè)計，實現(xiàn) 2×10^-10 至 1×10^-3 torr 的超寬壓力測量范圍。具備出色靈敏度與低 X 射線限值，數(shù)據(jù)可靠，適配科研實驗、半導體制造等對真空環(huán)境要求嚴苛的場景。依托安捷倫品牌品質(zhì)保障，安裝便捷、穩(wěn)定性強，是真空系統(tǒng)測量的設(shè)備。

產(chǎn)品介紹

安捷倫真空計 563 B-A

563 B-A 型規(guī)管

安捷倫 563 B-A 型熱陰極電離規(guī)管采用加熱燈絲作為電子源。該規(guī)管在 2 x 10 -10 至 1 x 10 -3 torr 的壓力范圍內(nèi)具有卓越的性能。玻璃殼體內(nèi)部使用鉑涂層，可以在較低壓力下為真空規(guī)提供靜電屏蔽，同時又可釋放高壓下可能積聚的靜電。此外，還提供在低于 5 x 10 -6 torr 真空下的校準規(guī)，用于測試真空規(guī)控制器。

安捷倫真空計

安捷倫 563 B-A 真空計特性：采用 Bayard-Alpert 技術(shù)，測量范圍覆蓋 2×10^-10 至 1×10^-3 torr 超寬區(qū)間；加熱燈絲電子源搭配玻璃外殼鉑涂層，靈敏度高、X 射線限值低，數(shù)據(jù)；結(jié)構(gòu)設(shè)計穩(wěn)定可靠，適配科研、半導體等多場景真空系統(tǒng)，安裝便捷且長期運行性能優(yōu)異，是真空測量領(lǐng)域的高品質(zhì)選擇。

安捷倫 563 B-A 真空計核心性能指標

測量范圍：覆蓋 2×10^-10 至 1×10^-3 torr（對應(yīng) 2.6×10^-10 至 1.3×10^-3 mbar），適配超高真空至中真空測量場景。

靈敏度：標準值為 10 (torr)^-1 / (mbar)^-1，保障微量壓力變化的捕捉。

X 射線限值：低至 2×10^-10 torr，有效減少背景干擾，提升極端真空環(huán)境下的測量準確性。

核心配置：采用加熱燈絲電子源，搭配玻璃外殼鉑涂層設(shè)計，兼顧穩(wěn)定性與抗干擾能力。

適配性：可與專用真空計控制器配套使用，兼容科研、半導體制造等多場景真空系統(tǒng)。

外形圖

安捷倫真空計