安捷倫復(fù)合離子泵 CombiNEG

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關(guān)鍵詞：安捷倫復(fù)合離子泵

摘要

安捷倫 CombiNEG 復(fù)合離子泵是超高 / 極高真空場景的設(shè)備，集成非蒸散型吸氣劑泵芯與 Starcell 離子泵單元。對氫氣抽速達(dá) 400L/s，同時(shí)處理氬氣、氦氣等惰性氣體，極限真空 < 1×10?11mbar。無活動(dòng)部件設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)無振動(dòng)運(yùn)行，低磁場 + 低漏電流減少系統(tǒng)干擾，緊湊結(jié)構(gòu)搭配多規(guī)格法蘭與饋通件，適配半導(dǎo)體、材料科研等需求，8 萬小時(shí)長壽命更省心。

產(chǎn)品介紹

安捷倫復(fù)合離子泵 CombiNEG

安捷倫復(fù)合離子泵

安捷倫 CombiNEG 復(fù)合離子泵特性：

抽氣性能：對氫氣抽速達(dá) 400L/s，兼顧氬氣、氦氣等惰性氣體，極限真空＜1×10?¹¹mbar，滿足超高 / 極高真空需求。

結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：無活動(dòng)部件，運(yùn)行無振動(dòng)；低磁場、低漏電流，減少系統(tǒng)干擾。

適配性：緊湊結(jié)構(gòu)，支持多規(guī)格法蘭與饋通件，適配半導(dǎo)體、材料科研等多場景。

壽命與維護(hù)：壽命長達(dá) 8 萬小時(shí)，免維護(hù)設(shè)計(jì)，使用省心。

規(guī)格及型號說明

泵的外形圖

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安捷倫復(fù)合離子泵

吸氣劑泵芯組件

主泵組件剖視圖

安捷倫復(fù)合離子泵

安捷倫 VacIon Plus 系列離子泵

CombINiEG 泵的外形圖

安捷倫復(fù)合離子泵

CombINiEG 泵的核心組件

安捷倫復(fù)合離子泵

CapaciTorr D 1000 吸附抽速曲線。

它展示了 CapaciTorr D 1000 型號的真空組件在不同吸附量（Sorbed Quantity，單位 Torr?L）下，對氫氣（H?）、氮?dú)猓∟?）、一氧化碳（CO）的抽速（Pumping Speed，單位 L/s）表現(xiàn)，測試遵循 ASTM F798-97 標(biāo)準(zhǔn)，還標(biāo)注了吸附溫度、激活條件、吸附壓力等關(guān)鍵參數(shù)，是該型號組件真空性能的核心技術(shù)圖譜。

安捷倫復(fù)合離子泵

Ion CombiNEG 150-1000 和 150-2000 泵（StarCell 版本）的主泵組件剖視圖，其中分別安裝了 D 1000 和 D 2000 吸氣劑泵。

它屬于真空設(shè)備領(lǐng)域的復(fù)合型離子泵結(jié)構(gòu)展示圖，通過剖視圖清晰呈現(xiàn)了內(nèi)部的離子泵單元（紫域，即 StarCell 技術(shù)的離子泵結(jié)構(gòu)）和 D 1000/D 2000 吸氣劑泵（綠色區(qū)域）的裝配關(guān)系，用于直觀展示該系列泵的核心組件布局與集成設(shè)計(jì)。

安捷倫復(fù)合離子泵