普發(fā)分子泵 HiPace700H
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摘要
普發(fā)分子泵 HiPace700H 是高真空系統(tǒng)核心設(shè)備，N?抽速達(dá) 685L/s，對(duì) He、H?、Ar 等氣體抽排，極限壓力低至 7.5×10??托。集成驅(qū)動(dòng)控制器，支持強(qiáng)制風(fēng)冷與水冷，適配 ISO 160-K 入口法蘭，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、科研實(shí)驗(yàn)等場(chǎng)景，干泵設(shè)計(jì)免維護(hù)，穩(wěn)定可靠。
產(chǎn)品介紹
普發(fā)分子泵 HiPace700H
普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）生產(chǎn)的 HiPace 系列渦輪分子泵。
HiPace 系列渦輪分子泵憑借其高抽速、能達(dá)到高真空和超高真空的性能，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、分析儀器（如質(zhì)譜儀 ）、科研實(shí)驗(yàn)（像材料科學(xué)研究、物理實(shí)驗(yàn)）、鍍膜等領(lǐng)域。通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子對(duì)氣體分子施加作用力，使氣體分子定向移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)抽氣，滿(mǎn)足各類(lèi)對(duì)真空度要求苛刻的應(yīng)用場(chǎng)景。
HiPace700H 分子泵核心特點(diǎn)
抽速?gòu)?qiáng)勁：N?抽速達(dá) 685L/s，對(duì) He、H?等輕氣體抽排效率優(yōu)異，適配高 / 超高真空系統(tǒng)。
性能穩(wěn)定：極限壓力低至 7.5×10??托，耐受大氣暴露，長(zhǎng)期運(yùn)行數(shù)據(jù)波動(dòng)小。
適配靈活：支持強(qiáng)制風(fēng)冷 / 水冷雙散熱，配 ISO 160-K 入口法蘭，兼容多種真空系統(tǒng)。
運(yùn)維便捷：干泵設(shè)計(jì)無(wú)油污染，集成驅(qū)動(dòng)控制器，安裝調(diào)試簡(jiǎn)單，維護(hù)成本低。
場(chǎng)景廣泛：覆蓋半導(dǎo)體制造、科研實(shí)驗(yàn)、真空鍍膜等領(lǐng)域，適配精密真空工藝需求。
HiPace 700H 作為普發(fā)真空 HiPace 700 系列的 H 款，核心優(yōu)勢(shì)是壓縮比更高，尤其適配輕質(zhì)氣體，其詳細(xì)技術(shù)參數(shù)整合自官方及授權(quán)經(jīng)銷(xiāo)商資料，具體如下：
基礎(chǔ)套件說(shuō)明：
HiPace700H 外形尺寸
控制類(lèi)配件
TC 400 驅(qū)動(dòng)單元：作為核心控制配件，自帶 RS485 通訊接口和遠(yuǎn)程操作接口，還配有兩個(gè)配件端口，可控制散熱風(fēng)扇或電磁放空閥，保障泵體穩(wěn)定運(yùn)行。
DCU 400 顯示單元：常搭配驅(qū)動(dòng)單元使用，附帶連接線纜，方便用戶(hù)直觀查看泵的運(yùn)行參數(shù)，實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)操作與狀態(tài)監(jiān)控。
Omnicontrol 400 控制器：可選的臺(tái)式或機(jī)架式配件，既能供電又能通過(guò) RS485 通訊實(shí)現(xiàn)泵的監(jiān)控與控制，適合實(shí)驗(yàn)室場(chǎng)景。
散熱類(lèi)配件
水冷套件：部分機(jī)型標(biāo)配，適配設(shè)備水冷需求，保障高負(fù)荷運(yùn)行時(shí)的溫度穩(wěn)定。
強(qiáng)制風(fēng)冷套件 / 冷卻風(fēng)扇：可選配件，可滿(mǎn)足不同工況下的散熱需求，適配無(wú)需水冷的簡(jiǎn)易安裝場(chǎng)景。
連接與防護(hù)類(lèi)配件
專(zhuān)用連接線纜：用于驅(qū)動(dòng)單元、顯示單元與泵體的連接，是設(shè)備通電和信號(hào)傳輸?shù)呐浼?/span>
入口過(guò)濾網(wǎng)：可選配件，能過(guò)濾雜質(zhì)，避免異物進(jìn)入泵體內(nèi)部損傷核心部件，延長(zhǎng)使用壽命。
電磁放空閥：可與驅(qū)動(dòng)單元的配件端口連接，便于設(shè)備停機(jī)或維護(hù)時(shí)的安全放空操作。
運(yùn)維與輔助類(lèi)配件
TurboViewer 軟件存儲(chǔ)棒：配套的軟件工具，方便用戶(hù)進(jìn)行設(shè)備參數(shù)調(diào)試、運(yùn)行數(shù)據(jù)記錄與故障排查。
軸承與密封件：作為易損耗配件，包括混合軸承系統(tǒng)相關(guān)部件、O 型圈、密封墊等，用于定期維護(hù)更換，保障泵的密封性能和運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定性。
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