普發(fā)分子泵 HiPace10 廠家直供

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摘要

德國普發(fā) HiPace10 渦輪分子泵，緊湊輕便僅 1.8kg，IP54 防護適配工業(yè)環(huán)境。氮氣 10l/s 高抽速搭配 < 5×10??mbar 極限真空，0.9 分鐘快速啟動。復合軸承設計壽命長久，支持任意角度安裝與現(xiàn)場維護。通過 SEMI S2 及 UL 認證，適配多氣體工況，是質譜分析、半導體制造、科研實驗的可靠真空解決方案。

產品介紹

普發(fā)分子泵 HiPace10

普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）生產的 HiPace 系列渦輪分子泵 。

HiPace 系列渦輪分子泵常用于需要高真空或超高真空環(huán)境的場合，像半導體制造領域，用于芯片制造過程中的刻蝕、鍍膜等環(huán)節(jié)；在科研方面，可用于材料科學研究、表面分析等實驗。其通過高速旋轉的葉片將氣體分子驅向排氣口，實現(xiàn)抽氣，以達到系統(tǒng)所需的真空度。

普發(fā)分子泵

德國普發(fā) HiPace10 渦輪分子泵，憑借緊湊設計（僅 1.8kg）與 IP54 防護，適配多場景安裝。氮氣 10l/s 高抽速 +<5×10??mbar 極限真空，0.9 分鐘快速啟動，效率出眾。復合軸承加持延長使用壽命，支持任意角度安裝與便捷維護，通過 SEMI S2 等，為質譜分析、半導體制造、科研實驗提供穩(wěn)定可靠的高真空解決方案。

普發(fā) HiPace10 渦輪分子泵，主打緊湊與廣泛適配性。機身輕便、防護性強，具備高抽速、快啟動優(yōu)勢，復合軸承設計兼顧長壽命與易維護性，通過多項。適配質譜分析、半導體制造、科研實驗等多場景，為精密真空作業(yè)提供穩(wěn)定可靠的解決方案，兼顧性能與實用性。

抽速和尺寸圖

普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）HiPace® 10 渦輪分子泵搭配 TC 110 控制器、DN 25 接口的尺寸圖紙。HiPace 系列渦輪分子泵常用于需要高真空環(huán)境的場景，如半導體制造、科研實驗等，通過不同的接口和控制器配置，滿足各類真空系統(tǒng)的連接與控制需求。

普發(fā)分子泵