普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）的 TSU 61 BP 100 A 渦輪分子泵機(jī)組
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分子泵維修
摘要
普發(fā)真空 TSU 61 BP 100 A 渦輪分子泵機(jī)組，集成渦輪泵與前級(jí)泵，抽速?gòu)?qiáng)勁、極限真空優(yōu)異，適配多種接口，緊湊耐用。適用于半導(dǎo)體、鍍膜、科研等真空?qǐng)鼍?，低振低噪、免維護(hù)，是高可靠的真空系統(tǒng)核心設(shè)備。
產(chǎn)品介紹
普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）的 TSU 61 BP 100 A 渦輪分子泵機(jī)組。
它屬于普發(fā)真空的高真空設(shè)備系列，是一款用于產(chǎn)生超高真空環(huán)境的工業(yè)級(jí)設(shè)備，常用于半導(dǎo)體制造、真空分析、科研實(shí)驗(yàn)等對(duì)真空度要求極高的領(lǐng)域，具備抽氣、穩(wěn)定運(yùn)行的特點(diǎn)，其集成化設(shè)計(jì)便于在各類真空系統(tǒng)中部署。
普發(fā)真空 TSU 61 BP 100 A 渦輪分子泵機(jī)組，專為 load lock 腔體量身打造，實(shí)現(xiàn)短抽真空時(shí)間，大幅提升生產(chǎn)效率。機(jī)組能耗低、維護(hù)工作量極少，保障超長(zhǎng)穩(wěn)定運(yùn)行時(shí)間，降低運(yùn)維成本。同時(shí)尺寸小巧、重量輕盈，節(jié)省安裝空間，適配多種場(chǎng)景。是、省心的真空系統(tǒng)核心之選！
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