普發(fā)真空(Pfeiffer Vacuum)ATH 500M 系列渦輪分子泵
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摘要
德國普發(fā)真空 ATH 500M 系列渦輪分子泵,搭載五軸控制全磁浮軸承核心技術(shù),無油免維護(hù)且內(nèi)部潔凈。對氮?dú)獬樗龠_(dá) 350-550 l/s,極限真空度<1×10?? hPa,50000 min?1 高速運(yùn)轉(zhuǎn)下低噪低振。支持任意方向安裝,可選雙接口、三密封及風(fēng) / 水冷模式,含遠(yuǎn)程控制與抗腐蝕款,適配半導(dǎo)體、分析儀器等精密場景,性能穩(wěn)定且兼容性強(qiáng)。
產(chǎn)品介紹
普發(fā)真空(Pfeiffer Vacuum)ATH 500M 系列渦輪分子泵,屬于高真空獲得設(shè)備。
它采用渦輪分子泵技術(shù),可在高真空環(huán)境下實(shí)現(xiàn)抽氣,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析儀器等對真空度要求極高的領(lǐng)域,具備高抽速、低振動、長壽命等特點(diǎn),是高真空系統(tǒng)的核心部件之一。

渦輪分子泵的抽速 - 壓力特性曲線,屬于高真空設(shè)備的性能圖表。
該曲線展示了渦輪分子泵在不同氣體(N?氮?dú)?、He 氦氣、H?氫氣、Ar 氬氣)下,抽氣速率(S,單位:l/s)隨入口壓力(p,單位:hPa)的變化關(guān)系,反映了泵在不同工況下的抽氣性能,是高真空設(shè)備選型和性能評估的重要參考圖表。

真空設(shè)備的流量 - 入口壓力特性曲線,屬于真空系統(tǒng)性能圖表。
該曲線展示了某真空設(shè)備(如真空泵、真空閥等)在不同入口壓力(單位:mbar)下的氣體流量(單位:sccm)變化關(guān)系,反映了設(shè)備在不同壓力工況下的流量性能,是真空設(shè)備選型、性能評估及系統(tǒng)匹配的重要參考圖表。

真空渦輪分子泵的尺寸圖紙,屬于高真空設(shè)備的機(jī)械設(shè)計圖紙。
圖紙從正視圖和俯視圖標(biāo)注了泵體的關(guān)鍵尺寸參數(shù),包括入口(Inlet)、出口接口規(guī)格(DN25 ISO-KF)、外形輪廓尺寸(如直徑 Ø180 等),用于設(shè)備的安裝適配、空間布局規(guī)劃以及技術(shù)參數(shù)確認(rèn),是渦輪分子泵工程應(yīng)用和機(jī)械設(shè)計的重要技術(shù)文檔。

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