普發(fā)真空 Split Flow 系列渦輪分子泵
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摘要
普發(fā)真空 Split Flow 系列渦輪分子泵，傳承品牌專利技術與 50 余年真空領域積淀。采用模塊化設計與混合軸承系統(tǒng)，緊湊小巧不占地，集成智能控制器，IP54 防護適配工業(yè)場景。抽速強勁且壓縮比高，可單泵同時為多腔體抽真空，大幅降低投入與運維成本。無油潔凈運行，搭配實時數據監(jiān)控，是質譜儀、檢漏儀等分析設備及精密制造的高可靠真空解決方案。
產品介紹
普發(fā)真空 Split Flow 系列渦輪分子泵，它是一款集成分流功能的高真空泵，兼具渦輪分子泵的高抽速與分流設計，可實現(xiàn)不同氣體的選擇性抽排，適配半導體、科研等對真空環(huán)境有精細控制需求的場景，是復雜真空系統(tǒng)的核心設備之一。
真空計多氣體靈敏度特性曲線，展示了 N?、He、H?、Ar 四種氣體在不同壓強（p，單位 hPa）下的靈敏度（S）變化規(guī)律，用于指導真空計在多氣體環(huán)境下的測量校準，是真空系統(tǒng)氣體檢測的關鍵參考曲線。
普發(fā)真空 HiPace 系列渦輪分子泵的安裝尺寸圖，展示了該泵的接口規(guī)格（如 DN 63 ISO-K 真空法蘭、G 1/4" 輔助接口）、安裝孔位（M5 螺栓）及關鍵尺寸參數，用于指導該分子泵在真空系統(tǒng)中的安裝與管路適配，是設備集成的技術參考圖紙。
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