普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 系列渦輪分子泵

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關(guān)鍵詞：渦輪分子泵

摘要

普發(fā)真空 ATH 500M 系列渦輪分子泵，采用高剛性軸承設(shè)計，極限真空達 10?11 mbar，抽速強勁適配多種氣體。緊湊結(jié)構(gòu)易集成，低振動低噪音，支持智能監(jiān)控與遠程控制。適用于半導體、科研鍍膜等真空場景，是穩(wěn)定的真空解決方案。

產(chǎn)品介紹

普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）ATH 500M 系列渦輪分子泵，屬于高真空獲得設(shè)備。

它采用渦輪分子泵技術(shù)，可在高真空環(huán)境下實現(xiàn)抽氣，廣泛應(yīng)用于半導體制造、真空鍍膜、分析儀器等對真空度要求極高的領(lǐng)域，具備高抽速、低振動、長壽命等特點，是高真空系統(tǒng)的核心部件之一。

渦輪分子泵

渦輪分子泵的抽速 - 壓力特性曲線，屬于高真空設(shè)備的性能圖表。

該曲線展示了渦輪分子泵在不同氣體（N?氮氣、He 氦氣、H?氫氣、Ar 氬氣）下，抽氣速率（S，單位：l/s）隨入口壓力（p，單位：hPa）的變化關(guān)系，反映了泵在不同工況下的抽氣性能，是高真空設(shè)備選型和性能評估的重要參考圖表。

渦輪分子泵

真空設(shè)備的流量 - 入口壓力特性曲線，屬于真空系統(tǒng)性能圖表。

該曲線展示了某真空設(shè)備（如真空泵、真空閥等）在不同入口壓力（單位：mbar）下的氣體流量（單位：sccm）變化關(guān)系，反映了設(shè)備在不同壓力工況下的流量性能，是真空設(shè)備選型、性能評估及系統(tǒng)匹配的重要參考圖表。

渦輪分子泵

真空渦輪分子泵的尺寸圖紙，屬于高真空設(shè)備的機械設(shè)計圖紙。

圖紙從正視圖和俯視圖標注了泵體的關(guān)鍵尺寸參數(shù)，包括入口（Inlet）、出口接口規(guī)格（DN25 ISO-KF）、外形輪廓尺寸（如直徑 Ø180 等），用于設(shè)備的安裝適配、空間布局規(guī)劃以及技術(shù)參數(shù)確認，是渦輪分子泵工程應(yīng)用和機械設(shè)計的重要技術(shù)文檔。

渦輪分子泵