安捷倫離子泵 VacIon Plus 75
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安捷倫 9515106 泄漏閥
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安捷倫真空計控制器 XGS-600
摘要
安捷倫 VacIon Plus 75 離子泵是超高 / 極高真空場景，抽速達(dá) 75 L/s，極限真空＜1×10?11 mbar。搭載專利三極 / 星形元件，對惰性氣體、氫氣等抽速優(yōu)異，無活動部件實(shí)現(xiàn)無振動運(yùn)行。低磁場、低漏電流設(shè)計減少系統(tǒng)干擾，支持多接口與定制化選項(xiàng)，8 萬小時長壽命，適配科研、半導(dǎo)體、電子顯微鏡等領(lǐng)域，潔凈無油且集成便捷。
產(chǎn)品介紹
安捷倫離子泵 VacIon Plus 75
安捷倫的 VacIon Plus 離子泵系列具有適合各種抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號。Diode VaclonPlus 離子泵通常用于抽空電子器件的通用超高真空 (UHV) 系統(tǒng)中及高分辨電子顯微鏡中。Noble Diode VaclonPlus 離子泵用于以恒定的壓力抽除混合氣體的超高真空應(yīng)用中，因此適合在粒子加速器、同步加速器環(huán)和表面分析應(yīng)用中提供超高真空。StarCell 的專利設(shè)計使其成為能抽除大量惰性氣體和氫氣的離子泵。該泵同樣可以最高速度和最大容量處理甲烷、氬氣和氦氣。StarCell Vaclon Plus 離子泵適合需要在 10 -8 mbar 或以上壓力下穩(wěn)定工作的應(yīng)用。
一、特性
單元室采用優(yōu)化設(shè)計，可最大限度提高排放強(qiáng)度和抽速
離子泵在真空狀態(tài)下運(yùn)輸
具有寬廣的抽速范圍（從 0.2 l/s 至 1000 l/s）
可提供多種泵體配置
聯(lián)鎖的真空密封穿導(dǎo)件連接方便，并可避免腐蝕和最大限度縮小泵的總體尺寸
三種不同的抽氣單元可抽除所有可能的氣體混合物
專用陶瓷絕緣子可延長泵的壽命
提供掃描電子顯微鏡 (SEM) 型
二、資料下載
三、部件號及說明
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