安捷倫離子泵 VacIon Plus 200

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摘要

安捷倫 VacIon Plus 200 離子泵：專為超高 / 極高真空（UHV/XHV）場景設(shè)計，極限真空 < 1×10?11mbar，可選三種泵芯元件適配不同氣體抽速需求。優(yōu)化磁場設(shè)計實(shí)現(xiàn)快速抽真空，經(jīng)真空燒制減少氫氣逸出，無運(yùn)動部件且低磁干擾。適配 8 英寸 CFF 法蘭，壽命達(dá) 8 萬小時，是半導(dǎo)體、粒子加速、表面分析等精密設(shè)備的可靠真空核心。

產(chǎn)品介紹

安捷倫離子泵 VacIon Plus 200

VacIon Plus 200

作為離子泵技術(shù)，我們的創(chuàng)新技術(shù)已成為行業(yè)標(biāo)桿，現(xiàn)在推出了 Agilent VacIon Plus 200 泵，合各種 XHV（極高真空）和 UHV（超高真空）應(yīng)用。VacIon Plus 200 是市面上能夠在低壓下（10-8 mbar 范圍內(nèi)）達(dá)到大抽氣速率的泵。該泵提供 Diode、Noble Diode 或 StarCell 泵元件和 8 英寸 ConFlat 入口法蘭。Diode 和 Noble Diode 配置具有市面上小的占地面積，可輕松完成安裝。磁場經(jīng)過優(yōu)化且具有更出色的均勻性，并且引入“真空燒制”熱處理，使得 VacIon Plus 200 在同類泵中具有的真空性能。VacIon Plus 200 泵可采用的安捷倫 4UHV 控制器進(jìn)行操作，其能夠改變高壓以便在各種壓力范圍內(nèi)驅(qū)動離子泵至該電壓，實(shí)現(xiàn)大抽氣速率。

安捷倫離子泵

特性

安捷倫 VacIon Plus 200 離子泵，核心特性包括：適配超高 / 極高真空（UHV/XHV），極限真空 < 1×10?¹¹mbar，可選 Star Cell/Noble Diode/Diode 三種泵芯（對應(yīng) N?抽速 180/185/200 L/s），優(yōu)化磁場 + 真空燒制工藝減少氫氣逸出，無運(yùn)動部件、低磁干擾，8 英寸 CFF 法蘭，壽命達(dá) 8 萬小時。

典型備件號（以加熱器為例）：X3601-68007（適配帶側(cè)孔的 VacIon Plus 200，120V），用于輔助泵體控溫。

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