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安捷倫離子泵 VacIon Plus 大型

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摘要

安捷倫 VacIon Plus 大型離子泵,是超高真空系統(tǒng)核心設(shè)備,極限壓力低至 1×10?11 托,抽速強(qiáng)勁且無油污染,適配寬量程氣體抽排。采用耐用型離子源設(shè)計(jì),支持多臺(tái)并聯(lián)擴(kuò)容,安裝維護(hù)便捷,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、科研實(shí)驗(yàn)、真空鍍膜等場景,為精密真空工藝提供穩(wěn)定可靠的超高真空解決方案。

產(chǎn)品介紹

安捷倫離子泵 VacIon Plus 大型

概述

一、 大型 VacIon Plus 泵

安捷倫大型 VacIon Plus 離子泵具有從 150 到全新 1000 L/s 的氮?dú)獬樗俜秶⒕哂?Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號(hào)。Diode Vaclon Plus 泵通常用于抽空電子器件的通用超高真空 (UHV) 系統(tǒng)中及高分辨電子顯微鏡中。Noble Diode Vaclon Plus 離子泵用于以恒定的壓力抽除混合氣體的超高真空應(yīng)用中,因此非常適用于粒子加速器、同步加速器環(huán)和表面分析等應(yīng)用。專利設(shè)計(jì)的 StarCell 是能同時(shí)抽除大量惰性氣體和氫氣的離子泵。該泵同樣可以最高速度和最大容量處理甲烷、氬氣和氦氣。StarCell Vaclon Plus 離子泵適合需要在 10–8 mbar 或以上壓力下穩(wěn)定工作的應(yīng)用。

安捷倫離子泵

安捷倫 VacIon Plus 系列大型離子泵(圖中包含不同規(guī)格型號(hào),常見如 VacIon Plus 1000),它是超高真空系統(tǒng)的核心設(shè)備,無油污染、無振動(dòng),極限壓力低至 1×10?¹¹ 托,適配粒子加速器、科研實(shí)驗(yàn)等場景,提供穩(wěn)定的超高真空環(huán)境。

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