安捷倫離子泵 VacIon Plus 300
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摘要
安捷倫 VacIon Plus 300 離子泵,抽速最高達(dá) 300 L/s,極限真空低至 < 1×10?11 mbar,輕松滿足 UHV/XHV 場景需求。無活動部件設(shè)計搭配 8 萬小時超長壽命,低振動低干擾,穩(wěn)定耐用且?guī)缀趺饩S護(hù)。三種抽氣單元可選,支持定制化配置,適配半導(dǎo)體、粒子物理、電子顯微鏡等科研與工業(yè)高端真空應(yīng)用,是高效可靠的真空解決方案。
產(chǎn)品介紹
安捷倫離子泵 VacIon Plus 300
VacIon Plus 300
安捷倫的 VacIon Plus 離子泵系列具有適合各種抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號。Diode VaclonPlus 離子泵通常用于抽空電子器件的通用超高真空 (UHV) 系統(tǒng)中及高分辨電子顯微鏡中。Noble Diode VaclonPlus 離子泵用于以恒定的壓力抽除混合氣體的超高真空應(yīng)用中,因此適合在粒子加速器、同步加速器環(huán)和表面分析應(yīng)用中提供超高真空。StarCell 的專利設(shè)計使其成為能抽除大量惰性氣體和氫氣的離子泵。該泵同樣可以最高速度和最大容量處理甲烷、氬氣和氦氣。StarCell Vaclon Plus 離子泵適合需要在 10 -8 mbar 或以上壓力下穩(wěn)定工作的應(yīng)用。

安捷倫 VacIon Plus 300 離子泵核心特性
極致真空性能:抽速達(dá) 300 L/s,極限真空低至 < 1×10?¹¹ mbar,滿足超高真空場景需求;
超長耐用免維護(hù):無活動部件設(shè)計,使用壽命高達(dá) 8 萬小時,低振動低干擾,運維成本極低;
靈活適配多場景:三種抽氣單元可選,支持定制化配置,兼容半導(dǎo)體、科研實驗等多領(lǐng)域;
穩(wěn)定可靠易操作:搭載智能監(jiān)控系統(tǒng),運行狀態(tài)實時可視,安裝便捷且適配復(fù)雜工況,性能持續(xù)穩(wěn)定。
安捷倫 VacIon Plus 300 離子泵部件號及功能說明
核心抽氣單元
部件號 9191641(StarCell 三極型):適配惰性氣體與氫氣混合場景,星形陰極提升氬氣、氦氣傳輸效率,抽速達(dá) 240 L/s,滿足粒子物理、半導(dǎo)體制造需求。
部件號 9192622(Noble Diode 改進(jìn)型二極):側(cè)重殘留惰性氣體抽除,搭配低溫面板,水蒸氣抽速大幅提升,適用于高潔凈真空系統(tǒng)。
二極型單元:適配氫氣抽速優(yōu)先場景,系統(tǒng)少泄漏或排氣的通用 UHV/XHV 應(yīng)用,保障基礎(chǔ)真空性能。
輔助功能部件
部件號 9240122M001(高壓電纜):配套高壓傳輸,適配 Fischer/SHV 接頭,確保泵體與控制器穩(wěn)定連接。
100-240V 加熱器(580W):支持 350℃烘烤,適配高潔凈度需求場景,保障真空密封性。
8 英寸 CFF 法蘭(NW150):含雙法蘭、側(cè)孔選項,適配多方向真空穿導(dǎo),兼容不同系統(tǒng)安裝需求。
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